毛刷式基板清潔機

毛刷式清潔機/真空清潔機   VSC-727型

                          TWIN CYCLONE 基板清淨之決定版!!

◎    Cyclone Brush和經由吸引，強力之上下面及側面同時清浄，下凹及開孔,

      板邊均能清潔乾淨。

◎    可對應至0.04mm極薄基板  可確實送板及清潔。

◎    獨創之Cyclone Brush技術，基板之NO-Damage保証，可適用於任何製程，Dry Film等

      亦可清潔。

◎    特殊開發素材的Twin Cyclone Brush和静電氣對策，而且Clean Roller Conveyer之採用等，

       清浄後之汚物再付着可能性徹底的排除。

◎    Compact之設計(装置幅350mm) 既有生産線之Layout追加相當容易。

◎    無需工具可將Cyclone Case打開，Brush之更換容易。

◎    大幅降低短路率 提升良率 及降低水汙染環境汙染 水處理成本

◎    可使用製程: 棕化後及棕化前 壓膜前 曝光前 內層 蝕刻前 AOI前後 防焊前  

       PP板屑 基板隔板 雷射製程 水洗線前 及其他製程之應用

裝置性能 規格

• 對應基板幅          ：可對應至28吋大基板尺寸
  
• 對應基板厚度      ：超薄板 軟板 硬板均可對應
  
• Pass line             ：895～945mm(標準)
• 送板速度              ：0～6m/min
• Utility                  ：AC單相 220V含集塵機、9A(定格)     air : 有快速接頭可接8mm軟管
• 装置Size･重量     ：本體 W350 ｘ D1100 ｘ H1150mm 150kg 

                                     ：集塵機 W450 x D490 x H740 50kg

工作原理及用途